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晶圆激光隐形切割机(jī)
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全(quán)自动(dòng)晶圆激光隐形切割设备主要(yào)是适(shì)用于各种半导体(tǐ)硅,锗(zhě),碳化硅,氧化锌等晶圆材料(liào),隐形(xíng)切割是将激光聚光于工件内部,在(zài)工件内部形成(chéng)改质(zhì)层(céng),通过扩展(zhǎn)胶膜等方法将工件分割成芯(xīn)片的切割方法(fǎ);适(shì)用于4inch,6inch,8inch 晶圆。
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