晶圆(yuán)ID激光标(biāo)刻设备

全自动晶圆激光标刻机(jī)主要是对(duì)各种硅晶圆、蓝(lán)宝石玻(bō)璃(lí)晶圆、SiC 晶圆进行精密 ID 标记;适用于 4inch,6inc,8inc 晶圆(yuán)。

产品(pǐn)描述

产品特点:

• 料盒(hé)上下料方式,取料,打标,放料回原(yuán)位。

• 全自(zì)动上(shàng)下料,视觉或者自动(dòng)寻边机构定位,加工(gōng)效率高。

• 设备体(tǐ)积微小,使(shǐ)用方(fāng)便。

• 自带自动检测料盒功能,自(zì)主(zhǔ)计数 Mapping 功能,可双面打标。

• 晶圆机械手完成(chéng)设(shè)备内的晶圆片运转(zhuǎn);JEL/ 首镭自主(zhǔ)机械手。

 

产品应用领域:

全自(zì)动晶(jīng)圆激光标刻机(jī)主要是对各种硅晶圆(yuán)、蓝宝石玻璃(lí)晶圆、SiC 晶圆进行(háng)精密 ID 标记;适(shì)用于(yú) 4inch,6inc,8inc 晶圆。

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