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全自动视觉（jiào）AOl检查机（jī）

全自（zì）动晶圆外观检（jiǎn）查机主要是适（shì）用于晶圆外（wài）观缺陷的检测设（shè）备，以提高客户（hù）生产效率;适用（yòng）于4inch，6inch，8inch晶圆。

产品描述

产品特点：

• 检测同时支持线宽测量及套刻测量三合一（yī）。
• 表（biǎo）面缺陷检测（cè）能力可达（dá）0.3um。
• 自动检测（cè）无需人（rén）工,单机缺陷（xiàn）检测模（mó）式。
• 灵（líng）活高效多（duō）种方式的（de）缺（quē）陷和自动（dòng）缺陷分类（lèi）。
• 单层图形和多层（céng）图形检测（cè）,及自定义区域（yù）检测。
• 高（gāo）精度线（xiàn）宽量及套刻尺寸测（cè）量系（xì）统（tǒng）。
• 自动脚本编程能力和自动（dòng）化（huà）运行。
• 自（zì）带自动检测料盒功能,自（zì）带 Mapping功能（néng）,可双面检测。
• 晶圆（yuán）机械手完成设备内的晶圆片运转;JEL/首（shǒu）镭自主机械手。

产（chǎn）品应用领域：

全自动晶圆外观检（jiǎn）查机主要是（shì）适用于晶圆外（wài）观缺陷的检（jiǎn）测设备，以提高客户生产（chǎn）效率;适用于4inch，6inch，8inch晶圆。

产品参数

激光类型配置	设备型号SL-WOV1020
适用晶圆	4寸.6寸（cùn）.8寸
线扫（sǎo）相机+激光测量仪（yí）	16K线扫相机+激光测量仪：幅宽（kuān）6mm扫（sǎo）描（miáo）间隔lum-10um;
相（xiàng）机（jī）镜头	镜头WD:49mm FOV:360mm图像分辨率（lǜ）：2lum
线扫同轴光源	发光（guāng）区域340mm*40mm
线（xiàn）扫线（xiàn）光源	组合光源；线光源2组；发（fā）光区域340mm*20mm
检测（cè）类型	外（wài）观不良；尺（chǐ）寸、厚度测（cè）量
产品上下料方式	Open cassette;
产品传送方式	日（rì）本JEL晶圆ROBOT+Mapping功能
晶圆载台	X.Y.Z.R载台：形（xíng）成6.5mm;粗调360°、微调±5°、最小行程5um
晶（jīng）圆（yuán）平移模组	行程350mm'重复（fù）精度±20um
软件	首镭专（zhuān）用（yòng）晶圆外观（guān）检查软件系（xì）统；
OCR读取	视觉（jiào）识别(可选配)
FFU	双FFU;99.995%@0.3um;400-500cmh
系统对接	MES与（yǔ）EAP(具备TCP/IP;支持（chí）SECS-GEM通讯标（biāo）准)
设备尺寸	L:1700mmW:1350mmH:1900mm

全自动视觉（jiào）AOl检查机（jī）

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